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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한문기 (Pusan National University) 서권상 (Pusan National University) 김동현 (Pusan National University) 이호준 (Puasn National Univerity)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제64권 제3호
발행연도
2015.3
수록면
422 - 428 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

대면적 증착용 선형 초고주파 플라즈마 장치 제작 및 정전 탐침법을 이용한 Ar 플라즈마 특성 분석과 온도 특성 분석
한문기 ,  서권상 ,  김동현 외 1명 전기학회논문지 2015.03 학술저널

2014

선형 초고주파 플라즈마 소스의 Gas 압력과 파워에 따른 온도 특성 분석
한문기 ,  윤용수 ,  김동현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2014.07 학술대회자료

초록· 키워드

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A 2.45GHz microwave plasma source with a linear antenna has been developed for low temperature large scale deposition processing. Microwave power is transmitted through WR340 waveguide and a copper rod, linear antenna, is located in a quartz tube. The power matching is effectively achieved by a linear antenna is located at λ<SUB>g</SUB>/4 or 3λ<SUB>g</SUB>/4 from the end of WR340 waveguide. The Ar plasma was generated along the surface of quartz tube and a clear standing wave pattern with nearly 10cm wavelength was observed at Ar pressure of 200mTorr and 200W input power. The electron density and electron temperature were investigated by using the electrostatic probe. The electron density and electron temperature were highly measured near the surface of quartz tube. Ar plasma density along the quartz tube is mostly uniform despite standing wave set-up and antenna of long length. A uniform temperature was measured at 10~40cm distance from the end quartz tube and 5cm distance from the surface of quartz tube.
#2.45GHz #Microwave PECVD #Linear Antenna #Electrostatic Probe #Temperature

목차

Abstract
1. 서론
2. 장치 제작 및 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 강석희 / 2014 / 플렉시블/웨어러블 일렉트로닉스 최신 연구동향 / 대한용접접합학회지 32 (3) : 34 ~ 42 dbpia 2. [단행본] - Chin-Wook Chung / 2013 / Plasma Electronics / Cheongmoongak google schola 3. [인터넷자원] - Wolfgang Petasch / / Microwave Plasma for Superior Substrate Pre-treatment in Chip-packaging Technologies / PVA TePla AG google schola 4. [학술지(정기간행물)] - H. Schlemm / 2003 / / Surface and Coatings Technology 174 –175 : 208 ~ 211 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - L. Wartski / 1996 / / Rev. Sci. Instrum 67 (3) : 895 ~ google schola

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