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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
서권상 (Puasn National University) 한문기 (Puasn National University) 김동현 (Puasn National University) 이호준 (Puasn National University)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제64권 제4호
발행연도
2015.4
수록면
567 - 572 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2018

유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
서권상 ,  김동현 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2018.10 학술대회자료

2017

N₂/NH₃SiH₄ 유도 결합형 플라즈마의 압력과 혼합가스 비율에 따른 이온 및 중성기체 밀도 분포
서권상 ,  김동현 ,  이호준 전기학회논문지 2017.02 학술저널

2016

유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구
서권상 ,  김동현 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.10 학술대회자료
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.07 학술대회자료

2015

유체 시뮬레이션을 이용한 선형 마이크로웨이브 플라즈마의 특성 분석
서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 1명 전기학회논문지 2015.04 학술저널

2014

유전 장벽 방전형 Ar/He 대기압 플라즈마의 유체 시뮬레이션과 광분석에 관한 연구
서권상 ,  김동현 ,  이해준 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2014.07 학술대회자료
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 선형 마이크로웨이브 플라즈마의 특성 분석
서권상 전자전기컴퓨터공 2014.01 학위논문

2013

선형 마이크로웨이브 플라즈마에서 파워와 Gas 압력에 따른 플라즈마 변수와 전자에너지 분포에 대한 연구
서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2013.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Discharge characteristics of linear microwave plasma were investigated by using fluid simulation of 2D axis-symmetry based on finite elements method. The microwave power was 2.45 GHz TEM mode and transmitted through linear antenna. Resistive power and pressure were considered simulation variables and argon was used for working gas. A decrease of electron density along the quartz tube was observed in low power condition but relatively uniform plasmas were generated in chamber by increasing the resistive power. The electron temperature was highly detected near the surface of quartz tube because the electron was heated only dielectric surface. The power transmission efficiency decreased and characteristics of surface plasma were observed in high electron density condition.
#2.45 GHz #Fluid simulation #Linear microwave plasma #PECVD

목차

Abstract
1. 서론
2. 시뮬레이션 조건 및 지배방정식
3. 시뮬레이션 결과 및 고찰
4. 결론
References

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대면적 증착용 선형 초고주파 플라즈마 장치 제작 및 정전 탐침법을 이용한 Ar 플라즈마 특성 분석과 온도 특성 분석
한문기 ,  서권상 ,  김동현 외 1명 전기학회논문지 2015 .03
시뮬레이션을 이용한 저온 대기압 플라즈마 소스의 전자기장 분석
윤명수 ,  조이현 ,  김동해 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 .02
Flow Actuation by DC Surface Discharge Plasma Actuator in Different Discharge Modes
Yeon-Sung Kim ,  Jichul Shin International Journal of Aeronautical and Space Sciences 2015 .09
[플라즈마학술상] Nonthermal Atmospheric Pressure Plasmas and their Applications to Plasma Bioscience and Medicines
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