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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.7
- 수록면
- 653 - 657 (5page)
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표면확산계수의 활성화를 통한 실리콘-게르마늄(silicon-germanium) 양자점의 성장을 수치해석적으로 구현하였다. 실리콘 기판 위에 증착된 실리콘-게르마늄 박막의 성장을 표현하는 비선형 지배방정식을 유도하였으며, 확산계수를 온도의 함수로 고려하여 표면확산계수의 국소적 향상이 미치는 효과를 살펴보았다. 해석결과는 안정상태의 박막이 섭동될 때에 양자점이 자기조립되는 과정을 보여주며, 박막표면의 국소부위에 선택적으로 구조물이 성장하는 현상을 나타낸다. 본 연구는 바텀업(bottom-up) 방식이 내재적으로 지닌 불규칙성을 해결할 대안을 마련하여 양자기기를 위한 공정개발의 방향을 제시한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 지배방정식 유도
3. 수치해석
4. 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Yu, B. / 2006 / Nanotechnology:Role in Emerging Nanoelectronics / Solid State Electronics 50 (4) : 536 ~ 544
[단행본] - Hull, R. / 1999 / Germanium Silicon:Physics and Materials / Academic press
[학술지(정기간행물)] - Asaro, R. J. / 1972 / Interface Morphology Development during Stress Corrosion Cracking: Part I. Via Surface Diffusion / Metallurgical Transactions 3 (7) : 1789 ~ 1796
[학술지(정기간행물)] - Grinfeld, M. A. / 1986 / Instability of the Interface Between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and a Melt / Doklady Akademii Nauk SSSR 290 : 1358 ~ 1363
[학술지(정기간행물)] - Srolovits, D. J. / 1989 / On the Stability of Surfaces of Stressed Solids / Acta Metallurgica 37 (2) : 621 ~ 625
[단행본] - Hull, R. / 1999 / Germanium Silicon:Physics and Materials / Academic press
[학술지(정기간행물)] - Asaro, R. J. / 1972 / Interface Morphology Development during Stress Corrosion Cracking: Part I. Via Surface Diffusion / Metallurgical Transactions 3 (7) : 1789 ~ 1796
[학술지(정기간행물)] - Grinfeld, M. A. / 1986 / Instability of the Interface Between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and a Melt / Doklady Akademii Nauk SSSR 290 : 1358 ~ 1363
[학술지(정기간행물)] - Srolovits, D. J. / 1989 / On the Stability of Surfaces of Stressed Solids / Acta Metallurgica 37 (2) : 621 ~ 625
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