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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.6
수록면
89 - 89 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

Gettering을 이용한 태양전지용 고품위 실리콘 기판 제작
박효민 ,  탁성주 ,  강민구 외 3명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2009.11 학술대회자료
Hot water oxidation 공정을 이용한 고품위 실리콘 기판 제작
박효민 ,  탁성주 ,  강민구 외 2명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2009.06 학술대회자료

초록· 키워드

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높은 소수반송자 수명(life-time)을 가지는 고품위 실리콘 기판은 고효율 실리콘 이종접합 태양전지 제작을 위한 중요 요소 기술 중 하나이다. 본 연구에서는 n-type c-Si 기판을 이용한 고효율 실리콘 이종접합 태양전지제작을 위해 hot water oxidation(HWO) 공정을 이용하여 고품위 실리콘 기판을 제작하였다. 실리콘 기판의 특성 분석은 Qusi-steady state photoconductance (QSSPC)를 이용하여 소수반송자 수명을 측정하였으며, 기판의 면저항 및 wetting angle을 측정하여 공정에 따른 특성변화를 분석하였다. Saw damage etching 된 기판을 웨이퍼 표면으로부터 particle, 금속 불순물, 유기물 등의 오염을 제거하기 위해 60{sim}85?C로 가열된 Ammonia수, 과산화수소수(NH₄ ... 전체 초록 보기
#고온습식산화법 #실리콘기판 #고품위 #소수반송자 수명 #이종접합 태양전지 #Hot water oxidation #Silicon wafer #High Quality #life-time #Heterojunction solar cell

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