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학술저널
저자정보
김병국 (비아트론) 김현수 (비아트론) 김형준 (비아트론) 박준우 (홍익대학교) 김윤석 (홍익대학교) 박승호 (홍익대학교)
저널정보
대한기계학회 기술과 교육 대한기계학회논문집 C권 제1권 제1호
발행연도
2013.7
수록면
7 - 12 (6page)

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SnO₂ (tin oxide) 박막은 물리적, 전기적 성질이 우수하여 첨단산업의 다양한 분야에서 널리 응용/개발되고 있다. 이의 응용대상은 다양한 센서, 윈드쉴드(windshield) 윈도우의 히팅 요소, 태양전지, flat panel diplay에서의 투명전극을 들 수 있다. 본 연구에서는 대면적 기판에 대한 APCVD 공정개발을 위하여 실험용 2세대 크기의 유리기판에 SnO₂ 박막증착 실험을 수행하였다. 증착 온도가 증가함에 따라 증착 두께가 두꺼워지고 이에 따라 면저항은 감소, 투과도는 감소, 연무도 (haze)는 증가함을 확인하였다. 증착을 위한 전구체인 SnCl₄의 유량이 증가함에 따라 증착 두께 역시 증가하고 이에 따라 면저항은 감소한다. 그러나 투과도와 연무도는 SnCl₄ 유량의 영향을 거의 받지 않는다는 것을 확인하였다.
#Transparent Electrodes(투명전극) #Thin Film(박막) #SnO₂(산화주석) #APCVD(상압화학기상증착) #2nd Generation Backplane(2세대 기판)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 증착 실험
3. 결과 및 토론
4. 결론
참고문헌

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