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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박태성 (서울과학기술대학교) 곽동열 (서울과학기술대학교) 박익근 (서울과학기술대학교) Chiaki Miyasaka (펜실베니아주립대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제32권 제4호
발행연도
2012.8
수록면
393 - 400 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2013

음향현미경을 이용한 나노구조박막 접합계면의 비파괴평가 : Nondestructive Evaluation of Adhesive Interface for Nano-Structured Thin Film with Advanced Acoustic Microscopy
박태성 에너지시스템공학과 2013.01 학위논문

2012

초음파 현미경을 이용한 나노 박막의 접합 강도 평가
박태성 ,  곽동열 ,  박익근 외 1명 비파괴검사학회지 2012.08 학술저널
초음파현미경을 이용한 오스테나이트 스테인레스강의 재료특성 평가
박태성 ,  Yukio Kasuga ,  박익근 외 2명 한국생산제조학회지 2012.04 학술저널

2011

초음파원자현미경 캔틸레버의 동특성 해석과 탄성특성 평가
박태성 ,  곽동열 ,  박익근 외 2명 비파괴검사학회지 2011.04 학술저널

2010

UAFM(초음파원자현미경) 팁의 진동-접촉 해석과 나노 표면에의 응용
박태성 ,  곽동열 ,  박익근 외 1명 비파괴검사학회지 2010.04 학술저널

2009

초음파현미경의 V(z) 곡선의 관찰과 크리프 손상 평가에의 응용
박태성 ,  박익근 ,  김정석 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.06 학술대회자료

초록· 키워드

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최근 나노 박막은 MEMS/NEMS, 광학 코팅, 반도체 산업 등 다양한 분야에서 사용이 되고 있다. 박막은 마모, 침식, 부식, 고온 산화를 방지하기 위한 목적으로 사용될 뿐 아니라 특성화된 자기, 유전적 특성을 만들기 위한 목적으로 사용된다. 많은 연구자들이 이러한 박막 구조의 특성(밀도, 입자 크기, 탄성 특성, 필름/기지 계면의 특성)을 평가하기 위하여 많은 연구를 진행하고 있다. 이들 중에 박막과 기지 사이의 접합 특성을 평가하는 것이 많은 연구자들의 주 관심사가 되어 왔다. 본 연구에서는 나노 박막의 접합 특성을 평가하기 위하여 각기 다른 접합 특성을 가지는 폴리머 박막 시험편을 제작하였다. 제작된 시험편의 접합 특성을 측정하기 위하여 초음파현미경의 V(z) 곡선법을 이용하여 표면파의 속도를 측정하였다. 또한 계면을 포함하는 시험편의 표면을 전파하는 표면파의 속도와 접합력의 상관관계를 확인하기 위해 나노 스크래치 시험을 적용하였다. 그 결과 초음파현미경을 이용하여 측정된 표면파의 속도와 나노스크래치 시험을 이용한 임계하중이 일치하는 경향성을 나타내었다. 결론적으로 초음파현미경의 V(z) 곡선법은 나노 스케일 박막 계면에서의 접합 상태를 평가할 수 있는 기법으로 그 가능성을 나타내었다.
#초음파현미경 #V(z) 곡선 #접합 강도 #표면파 속도 #폴리머 박막 #스핀 코팅 #Scanning Acoustic Microscope #V(z) Curve #Adhesion Strength #Surface Acoustic Wave Velocity #Polymeric Film #Spin Coating

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 관련 이론
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (20)

참고문헌 신청
1. [단행본] - D. S. Campbell / 1970 / Mechanical Properties of Thin Films, Handbook of Thin FilmTechnology / McGraw-Hill google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. Strong / 1935 / On the cleaning of surfaces / RevSci Instr. 6 : 97 ~ 98 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Markus P. / 2004 / Pull-off test in the assessment ofadhesion at printed wiring board metallization/epoxy interface / Microelectronics Reliability 44 : 993 ~ 1007 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - O. S. Heavens / 1950 / Some factors influencing theadhesion of films produced by vacuumevaporation / Journal of Phys. Radium 11 : 355 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - B. Roge / 2003 / Nondestructive measurement ofporosity in thermal barrier coating / Journal of Thermal Spray Technology 12 (4) : 530 ~ 535 google schola

이 논문의 저자 정보

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