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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제8호
발행연도
2011.1
수록면
647 - 653 (7page)

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본 연구에서는 에너지 분산 분석법 (energy dispersive spectroscopy, EDS)으로 박막의 두께를 빠르고 정확히 측정할 수 있는 방법을 고안하였다. 입사에너지에 따른 박막과 기판의 성분 원소의 X-선 강도비와 박막의 두께 사이의 관계를 실험적으로 구하였다. 또한, EDS 분석 시 입사 전자빔의 에너지, X-선 발생 곡선, X-선의 후방산란 및 흡수, X-선 방출 각도, 시편 기울기 각도 등을 고려하여 박막의 두께를 계산할 수 있는 모델을 개발하였다. 이 모델에 의하여 계산된 X-선 강도와 박막 두께의 관계는 실험적으로 측정된 결과와 거의 완벽하게 일치하였다. 따라서 본 연구에서 개발된 모델과 EDS분석 결과를 이용하여 박막의 두께를 빠르고 정확하게 측정할 수 있다.
#Thin film #Thickness #EDS #Characteristic X-ray #Model

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참고문헌 (8)

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F. Arnal / 1969 / / C. R. Acad, Sci. Paris 268 : 1526 ~ google schola H. Packwood / 1981 / / X-ray Spectrom 10 : 138 ~ google schola H. Yakowitz / 1976 / / Proc. 9th Annual SEM Symp : 151 ~ google schola J. L. Pouchou / 1987 / / Proc. 11th Int. Cong. on X-ray Opticsand Micro analysis : 249 ~ google schola K. F. J. Heinrich / 1976 / / Natl. Bur. Stand. Tech. Note 521 google schola

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