메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
허창우 (목원대학교)
저널정보
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제14권 제6호
발행연도
2010.6
수록면
1,465 - 1,468 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
습식 식각은 식각용액으로서 화학용액을 사용하는 공정으로 반응물이 기판표면에서 화학반응을 일으켜 표면을 식각하는 과정이다. 습식 식각 시 수㎛의 해상도를 얻기 위해서는 그 부식액의 조성이나, 에칭시간, 부식액의 온도 등을 고려하여야 한다. 본 실험에서 사용한 금속은 Cr, Al, ITO 로 모두 DC sputter 방법을 사용해서 증착하여 사용하였다. Cr박막은 1300Å 정도의 두께를 사용하였고, ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 가시광 영역에서 투명하고 (80% 이상의 transmittance), 저저항 (Sheet Resistance : 50 Ω/sq 이하) 인 박막을 사용하였으며, 신호선으로 주로 사용되는 Al등의 증착조건에 따른 wet etching 특성을 조사하였다.
#DC 스퍼터링 진공 증착 장치 #광투과도 #해상도 #습식 식각 #DC magnetron sputtering #Cr #Al #ITO #optical transmittance #resolution #wet etching

목차

요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. Cr, Al 의 습식식각 특성
Ⅲ. ITO의 Wet etching 특성
Ⅳ. 결과 및 고찰
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Ronald R. Troutaman / 1990 / Forecasting Array Yields for Large Area TFT LCD's / SID 21 : 197 ~ 200 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Glliott Schlam / 1990 / Status of Flat Panel Display / SID 11 : F-1-1-40 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - M. Ristova / 2003 / Amorphous Silicon Photodiodes for Image Sensing / Applied Surface Science 218 : 44 ~ 53 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - M. Higuchi / 1994 / Postdeposition Annealing Influence on Sputtered Indium Tin Oxide Film Characteristics / Jpn. J. Appl. Phys 33 : 302 ~ 306 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - K. H. Choi / 1999 / ITO/Ag/ITO multiplayer films for the application of a very low resistance transparent electrode / Thin Solid Films 341 : 152 ~ 155 dbpia

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구
황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1986 .12
태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO₂ 박막의 특성
박철민 ,  정호성 ,  이재형 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .02
RF 스퍼터링을 이용한 AZO 박막 증착과 특성연구
서창택 ,  공대영 ,  윤성호 외 4명 대한전자공학회 학술대회 2011 .06
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 태양전지용 GZO/ITO 투명전도성 박막의 물성에 미치는 ITO층의 영향
정아로미 ,  송풍근 한국표면공학회지 2011 .12
DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성
이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2008 .07

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0