전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

전기로를 이용한 Si || SiO/SiN || Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회지

2002 .01

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  송오성 ,  이상돈

전기전자재료학회논문지

2002 .01

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

선형접합기를 이용한 Si∥1.3㎛-SiO₂/1.3㎛-SiO₂∥Si SOI 기판의 직접접합

송오성 ,  이영민 ,  이상현 외 2명

한국표면공학회지

2001 .02

GaAs-SiO₂ 혼합박막의 비선형 광학 특성

이성훈 ,  신동욱 ,  조성훈 외 4명

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

Wafer Bonding Fabrication of III-V/Si Based Tandem Solar Cells: A Review

Swagata Panchanan ,  Subhajit Dutta ,  Kuma 외 7명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

레이저 CVD를 이용한 GaAs/GaAs 및 GaAs/Si 결정성장연구

최웅림 ,  구자강 ,  정진욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

GaAs 나노입자 크기에 따른 SiO 혼합박막의 구조적 광학적 특성

이성훈 ,  김원목 ,  신동욱 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Thin Wafer를 이용한 Triple direct bonding에 관한 연구

이현기 ,  정호필 ,  윤상기 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

유리 ∥실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구

민홍석 ,  주영창 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Analysis and Growth of GaAs on Si

丁世鎭 ,  成萬永

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04