Supervisory Control of Plasma Etching Systems Improving Reliability Under Partial Observation

Kwang Hyun Cho ,  Jong Tae Lim

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

최적 제어를 위한 Supervisory Control ( Optimal Supervisory Control )

박홍성 ,  김면집 ,  노갑선 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

최적 제어를 위한 Supervisory Control

박홍성 ,  김면집 ,  노갑선 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1991 .10

Designing Observation Functions in Supervisory Control

Hangju Cho

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1990 .10

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application

Chang-ho Ra ,  Li Huamin ,  Yoo won jong 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Supervisory Control of Discrete Event Systems Considering Internal Structures and Behaviors

Hong Ju Moon ,  Wook Hyun Kwon

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles

Junko Hieda ,  Takahi ,  o Ishizaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas

주영우 ,  박연현 ,  노호섭 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching

김재권 ,  박연현 ,  백인규 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Etching Parameter on Gate Oxide Damage during Plasma Etching )

김종호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10