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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1994년 한국자동제어학술회의 논문집 제1권 제1호
발행연도
1994.10
수록면
1 - 6 (6page)

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1994

반도체 WAFER CASSETTE HANDLING용 MOBILE ROBOT SYSTEM
성학경 ,  김동일 ,  김성권 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1994.10 학술대회자료
반도체 WAFER CASSETTE HANDLING용 MOBILE ROBOT SYSTEM ( Clean Mobile Robot System Handling Wafer Cassette in Semi-conductor Process )
성학경 ,  김동일 ,  김성권 대한전자공학회 학술대회 1994.01 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. SYSTEM 구성
3. 주요 기능
4. 개발 효과
5. 결론

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