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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
안태길 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) 임재철 (한국지엠주식회사 구조강성시험팀) 김성근 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) 김국원 (순천향대학교 공과대학 기계공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제11권 제2호
발행연도
2012.1
수록면
33 - 38 (6page)

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The wafer positioning robot in the semiconductor industry is required to operate at high speed for the improvement of productivity. The residual vibration caused by the high speed of the wafer positioning robot, however, makes the life of the robot shorter and the cycle time longer. In this study, the input shaping and the path of the system are designed for the reduction of the residual vibration and the improvement of the cycle time. The followings are the process for the reduction and the improvement; 1) System modeling of the wafer positioning robot, 2) Verification of dynamic characteristics of the wafer positioning robot, 3) Input shaping plan using impulse response reiteration, 4) Simulation test using SIMULINK program, 5) Analysis of result.
#Wafer Positioning Robot #Reduction of Residual Vibration #Input Shaping

목차

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Singer, N.C / 1990 / Preshaping Command Inputs to Reduce System Vibration / ASME Journal of Dynamic System, Measurement and Control 112:76~82 google schola Singh, T / 1993 / Robust Time Delay Control / ASME Journal of Dynamic System, Measurement and Control 115:303~306 google schola Kim, M. / 2004 / 2nd International Conference on Autonomous Robots and Agents google schola 박주이 / 1994 / 입력 다듬기기법을 이용한 유연관절을 갖는 로봇의 잔류진동 제거 / 대한기계학회논문집 11:3066~3074 google schola 이지형 / 1994 / 성형입력에 의한 유연한 로봇의 잔류진동 제어 / 한국자동제어학술회의논문집 :603~607 google schola

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