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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.12
- 수록면
- 1,072 - 1,080 (9page)
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In a the present day, many vision inspection techniques are used in productive industrial areas. In particular, in the semiconductor industry the vision inspection system for wafers is a very important system. Also, inspection techniques for semiconductor wafer production are required to ensure high precision and fast inspection. In order to achieve these objectives, parallel processing of the inspection algorithm is essentially needed. In this paper, we propose the GPU (Graphical Processing Unit)-based parallel processing algorithm for the fast inspection of semiconductor wafers. The proposed algorithm is implemented on GPU boards made by NVIDIA Company. The defect detection performance of the proposed algorithm implemented on the GPU is the same as if by a single CPU, but the execution time of the proposed method is about 210 times faster than the one with a single CPU.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 웨이퍼 검사 개요 및 GPU
Ⅲ. 검사 알고리즘 고속화 및 병렬화
Ⅳ. 병렬 알고리즘의 최적화
Ⅴ. 실험 및 결과
Ⅵ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (12)
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1. [학위논문] - J. S. Lee / 2009 / Automatic classification algorithm of defects in semiconductor package molding surface inspection using pattern recognition / M. S. / Hoseo University
2. [학술대회논문] - R. Bertz / 2002 / Inspection Challenges of Leadless Packages / Proc. SEMOCPN : 418 ~ 422
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Nam / 2001 / Implementation of automated defect detection and classification system for semiconductor wafers / Proc. of the 28th KISS Fall Comference 28 (2) : 334 ~ 336
4. [학술대회논문] - K. S. Jang / 2005 / Classification rule-based defect pattern detection of semiconductor wafer map / Proc. of 2005 KIIE Fall Conference : 131 ~ 139
5. [학술지(정기간행물)] - S. Che / 2008 / A performance study of general-purpose applications on graphics processors using CUDA / Journal of Parallel and Distributed Computing 68 (10) : 1370 ~ 1380
2. [학술대회논문] - R. Bertz / 2002 / Inspection Challenges of Leadless Packages / Proc. SEMOCPN : 418 ~ 422
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Nam / 2001 / Implementation of automated defect detection and classification system for semiconductor wafers / Proc. of the 28th KISS Fall Comference 28 (2) : 334 ~ 336
4. [학술대회논문] - K. S. Jang / 2005 / Classification rule-based defect pattern detection of semiconductor wafer map / Proc. of 2005 KIIE Fall Conference : 131 ~ 139
5. [학술지(정기간행물)] - S. Che / 2008 / A performance study of general-purpose applications on graphics processors using CUDA / Journal of Parallel and Distributed Computing 68 (10) : 1370 ~ 1380
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