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대한전자공학회 ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications International Conference on Electronics, Informations and Communications (ICEIC) 2004, Vol. 2
발행연도
2004.8
수록면
801 - 803 (3page)

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#simulation #Methodology #Extension #Accumulation #Resistance #TCAD #Separation

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. CALCULATION METHODOLOGY
3. PROCESS AND DEVICE CALIBRATION
4. SEPERATION AND QUANTIFICATION
5. CONTACT RESISTIVITY
CONCLUSIONS
References

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