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이용수
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 낮은 구동 전압 제작 조건
Ⅲ. Capacitive-couple 구조의 MEMS 스위치
Ⅳ. 제작 순서
Ⅴ. 측정 결과
Ⅵ. 고찰
Ⅵ. 결론
참고 문헌
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