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저자정보
김태홍 (서울대학교) 김호영 (서울대학교)
저널정보
한국가시화정보학회 한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집 2010년도 한국가시화정보학회 추계학술대회
발행연도
2010.11
수록면
55 - 57 (3page)

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The bubble oscillations play an important role in ultrasonic cleaning processes. In the ultrasonic cleaning of semiconductor wafers, the cleaning process often damages micro/nano scale patterns while removing contaminant particles. However, the understanding of how patterns in semiconductor wafers are damaged during ultrasonic cleaning is far from complete yet. Here, we report the observations of the motion of bubbles ... 전체 초록 보기
#Ultrasonic cleaning(초음파 세정) #Chaotic bubble oscillation(무작위적인 기포 진동) #패턴 손상(Pattern damage)

목차

Abstract
1. 서론
2. 미세 기포 운동 가시화
3. 결론
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