나노스템프 위치제어용 중공형 압전액추에이터에 관한 연구

박중호; 이재종; 최기봉; 윤소남

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박중호 (한국기계연구원) 이재종 (한국기계연구원) 최기봉 (한국기계연구원) 윤소남 (한국기계연구원)

저널정보: 한국동력기계공학회 한국동력기계공학회 학술대회 논문집 2009年度秋季學術大會論文集

발행연도: 2009.11

수록면: 115 - 118 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구

박중호 , 이후승 , 이재종 외 3명 대한기계학회 논문집 A권 2011.09 학술저널

2010

나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 변위특성

박중호 , 이후승 , 이재종 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료

나노스템프 구동용 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구

박중호 , 이후승 , 이재종 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

2009

나노스템프 위치제어용 중공형 압전액추에이터에 관한 연구

박중호 , 이재종 , 최기봉 외 1명 한국동력기계공학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료

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In recent years, nanoimprinting lithography has been actively investigated, which can replicate nano-patterned master stamp into wafer and so on. Miniaturized precise actuators to control stamp displacement of doens of um in limited space are required for driving nanoscale stamp. In this study, basic characteristics on displacement and generation force of the prototype of hollow piezoelectric actuator developed for positioning stamp are experimentally investigated.

#Piezoelectric Actuator(압전 액추에이터) #Hollow Actuator(중공형 액추에이터) #Nanoscale Stamp(나노스 템프) #Nanoimprinting Lithography(나노임프린팅)

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이재종

소속기관 한국기계연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 자연과학 > 물리학

논문수 207 이용수 11,289

최기봉

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 자연과학 > 물리학

논문수 144 이용수 9,329

윤소남

소속기관 Korea Institute of Machinery & Materials

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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