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학술대회자료
저자정보
박중호 (한국기계연구원) 이후승 (한국기계연구원) 이재종 (한국기계연구원) 윤소남 (한국기계연구원) 함영복 (한국기계연구원) 장성철 (한국폴리텍항공대학)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
1,796 - 1,800 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구
박중호 ,  이후승 ,  이재종 외 3명 대한기계학회 논문집 A권 2011.09 학술저널

2010

나노스템프 구동용 중공형 압전액추에이터 변위특성
박중호 ,  이후승 ,  이재종 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료
나노스템프 구동용 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구
박중호 ,  이후승 ,  이재종 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

2009

나노스템프 위치제어용 중공형 압전액추에이터에 관한 연구
박중호 ,  이재종 ,  최기봉 외 1명 한국동력기계공학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Nanoimprint lithography has been actively investigated, which can replicate nano-patterned master stamp into thin polymer film on silicon substrate and so on. In this study, a square-shaped hollow piezoelectric actuator is presented, which is newly devised for driving nanoscale stamp instead of conventional electric motor in nanoimprint lithography. The 95-layered prototype actuator is fabricated with the side lengths of 23㎜ and 18㎜ for outer and inner squares. By applying a novel process instead of conventional forming process to fabricate one layer actuator, the one layer is composed of 4 rectangular segments produced by sawing a ceramic film with the thickness of 0.3㎜. Basic characteristics on displacement and generation force of the fabricated prototype are experimentally investigated. Furthermore, displacement characteristics using PI controller are also tested and discussed.
#Piezoelectric Actuator(압전액추에이터) #Nanoimprint Lithography(나노임프린팅) #Hollow Actuator(중공형 액추에이터) #Nanoscale Stamp(나노스템프)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 및 설계사양
3. 특성실험 및 결과
4. 결론
후기
참고문헌

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