지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.9
- 수록면
- 1,015 - 1,020 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
2010
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
최근, MEMS/NEMS 기술을 이용하여 기능성 나노 구조물을 제작하기 위한 공정기술 중에, 마스터 스템프에 형성된 나노패턴을 웨이퍼 등에 복제할 수 있는 나노임프린트 리소그래피 기술이 활발히 연구되고 있다. 본 연구에서는 기존 멀티헤드방식 나노임프린팅 장비에서 사용되던 전동모터를 대신하여 플렉셔 메커니즘과 결합된 나노스템프를 구동하기 위한 사각 형상의 중공형 압전액추에이터를 설계, 제작하였으며, 제조공정이 다른 각각의 시제품의 변위, 발생력 및 응답특성에 관한 검토를 수행한다. 또한, 압전 액추에이터의 변위제어에 대한 제어수법을 간단히 소개하였으며, 제작한 프로토타입의 PI제어기에 의한 변위 제어결과를 소개한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 제작 및 설계사양
3. 실험 및 결과
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Lee, J.-J / 2008 / Nano-Scale Patterning Using the Roll Typed UV-Nanoimprint Lithography Tool / Microelectronic Engineering 85 (5) : 861 ~ 865
2. [학술지(정기간행물)] - Ishii, Y / 2007 / Fabrication of Three-Dimensional Nanoimprint Mold Using Inorganic Resit in Low Accelerating Voltage Electron Beam Lithography / Microelectronic Engineering 84 : 912 ~ 915
3. [학술지(정기간행물)] - Park, S.-Y / 2009 / Nanoscale Patterning with the Double-Layered Soft Cylindrical Stamps by Means of UVNanoimprint Lithography / Microelectronic Engineering 86 (4) : 604 ~ 607
4. [학술지(정기간행물)] - Hsueh, C.-H. / 2006 / Analyses of Mechanical Failure in Nanoimprint Processes / Materials Science and Engineering A 433 : 316 ~ 322
5. [학술지(정기간행물)] - Hwan Soo Jang / 2010 / Eliminating the undercut phenomenon in interference lithography for the fabrication of nano-imprint lithography stamp / Current Applied Physics 10 (6) : 1436 ~ 1441
2. [학술지(정기간행물)] - Ishii, Y / 2007 / Fabrication of Three-Dimensional Nanoimprint Mold Using Inorganic Resit in Low Accelerating Voltage Electron Beam Lithography / Microelectronic Engineering 84 : 912 ~ 915
3. [학술지(정기간행물)] - Park, S.-Y / 2009 / Nanoscale Patterning with the Double-Layered Soft Cylindrical Stamps by Means of UVNanoimprint Lithography / Microelectronic Engineering 86 (4) : 604 ~ 607
4. [학술지(정기간행물)] - Hsueh, C.-H. / 2006 / Analyses of Mechanical Failure in Nanoimprint Processes / Materials Science and Engineering A 433 : 316 ~ 322
5. [학술지(정기간행물)] - Hwan Soo Jang / 2010 / Eliminating the undercut phenomenon in interference lithography for the fabrication of nano-imprint lithography stamp / Current Applied Physics 10 (6) : 1436 ~ 1441
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Cohesive Zone Model 을 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 이형과정 시뮬레이션
손기주
,
이우일
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013
.05
나노패턴 사파이어 기판의 조명 시뮬레이션
이창수
,
이동재
,
정태봉
외 2명
대한기계학회 춘추학술대회
2011
.11
다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
정준호
,
심영석
,
손현기
외 2명
제어로봇시스템학회 논문지
2004
.07
밸브 구동용 고속 리니어 액추에이터
성백주
드라이브·컨트롤
2011
.03
밸브 구동용 개폐식 솔레노이드 액추에이터의 설계
성백주
드라이브·컨트롤
2009
.12
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-550-000309659