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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
채기운 (한국산업기술대학교) 배진현 (한국산업기술대학교) 정영훈 (한국산업기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.28 No.7
발행연도
2011.7
수록면
851 - 858 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

4절 링크구조를 응용한 플랙셔 힌지 기반 모듈형 나노포지셔너
채기운 ,  배진현 ,  정영훈 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011.07 학술저널

2010

4 절 링크 구조를 응용한 플렉셔 힌지 기반 모듈러 나노포지셔너
채기운 ,  배진현 ,  정영훈 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Nanopositioning technologies play an important role in the progress of electronics, optics, bioengineering and various nano-scale technologies. As a result, various practical nanopositioning methods have been successfully introduced. Flexure mechanism is a valuable method in nanopositioning because of smooth and friction-free motion and the infinitesimal movement near to sub-㎚. In this study a modularized nanopositioner based on parallelogram four-bar linkage structure with right-circular flexure hinge was developed. The positioning performance of a single axis nanopositioner and a XY nanopositioner which was extended from single axis one were demonstrated using control experiments. Consequently, it was shown that the developed single axis nanopositioner possessed high performance and could be extended to various multi-axis nanopositioners.
#Nanopositioner (나노위치결정기구) #Flexure Hinge (플랙셔 힌지) #Piezo-stack Actuator (압전구동기) #Parallelogram Linkage (평행사변형 링크구조)

목차

1. 서론
2. 나노포지셔너의 설계
3. 나노포지셔너의 제작 및 제어
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
강중옥, 백석, 한창수, 홍성욱. 초정밀 3축 이송 스테이지의 개발. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia 강중옥, 서문훈, 한창수, 홍성욱. 초정밀 3축 이송 스테이지의 개발. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia 박종성, 정규원. 초정밀 스테이지 설계 및 제어에 관한 연구. 한국생산제조학회지. 2006 dbpia 예상돈, 정재훈, 민병현. 인치웜 리니어 모터 시스템 설계 및 제작에 관한 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia 정재훈, 예상돈, 민병현. 인치웜 리니어 모터 시스템 설계 및 제작에 관한 연구. 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집. 2003 dbpia

이 논문의 저자 정보

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