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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
예상돈 정재훈 (동의대학교 대학원) 민병현
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제12호
발행연도
2004.12
수록면
174 - 181 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

인치웜 리니어 모터 시스템 설계 및 제작에 관한 연구
예상돈 ,  정재훈 ,  민병현 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.12 학술저널

2002

실험계획법을 이용한 인치웜 리니어 모터의 설계
예상돈 ,  민병현 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Ultra precision positioning mechanism has widely been used on semiconductor manufacturing equipments, optical spectrum analyzer and cell manipulations. Ultra precision positioning mechanism is consisted of several actuators, sensors, guides and control systems. Its efficiency depends on each performance of components. The object of this study is to design, analysis and manufacture all of the inchworm linear motor system, which is one of the equipments embodied in ultra precision positioning mechanism. Inchworm linear motor system is consisted of a controller system and an inchworm linear motor, and its driving form is similar to a motion of span worm. A design and manufacture of inchworm linear motor, which is consisted of three PZT actuators, a rod, two columns and a guide plate, are performed. Minimizing the von-Mises stress of the hinge using Taguchi method and simulation by FEM software optimizes the structural design in a column of flexure hinge. The designed columns and guide plates are manufactured by a W -EDM and NC-milling. A controller system, which is an apparatus to drive inchworm linear motor, can easily adjust driving conditions by varying resonance frequency and input-output voltage of actuators and amplifiers. The performance of manufactured inchworm linear motor system is verified and valuated. In the future, inchworm linear motor system will be used to make a more precision positioning by reinforcing a sensor and feedback system.
#Inchworm Linear Motor(인치원 리니어 모터) #Ultra Precision Position Apparatus(초정밀위치결정기구) #PZT Actuator(PZT 액추에이터) #Taguchi Method(다구찌법) #Finite Element Method(유한요소법) #Pulse Generator(펄스생성기)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 인치웜 리니어 모터 설계 및 제작
3. 컨트롤러 시스템의 구성 및 제작
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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