초정밀 3축 이송 스테이지의 개발 : 2. 제작 및 성능 평가 :2. 제작 및 성능 평가

강중옥; 백석; 한창수; 홍성욱

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강중옥 백석 한창수 홍성욱

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제3호

발행연도: 2004.3

수록면: 155 - 162 (8page)

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This paper presents the fabrication procedure and the experiments for the 3-axis fine positioning stage proposed in [1]. First, the dynamic characteristics of the actuator and the stage are tested with the preload changed in order to validate the stage design specifications. Secondly, the performance of the stage is also evaluated on the accuracy associated with linear positioning, angular error, and straightness error. Experimental results show that the developed stage is accurate enough to be used for nanometer positioning. Through the analysis and experiment, the developed fine positioning stage are found to have a long stroke due to the magnetically pre loaded PZT actuators, the minimum motion crosstalk due to the use of a ball contact mechanism and the compact design.

#Fine stage(초정밀 스테이지) #Flexure hinge(유연 힌지) #Piezoelectric actuator(압전 소자 구동기) #Point contact(점접촉) #Magnetic preload(자기력 예압) #Natural frequency(고유진동수) #Hertzian contact(헤르쯔 접촉) #Hysterisis(히스테리시스) #Straightness (진직도) #Angular error(각오차)

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