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정두영 (한국산업기술대학교) 강찬형 (한국산업기술대학교)
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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 및 녹색성장 친환경 표면처리 워크숍
발행연도
2009.10
수록면
142 - 143 (2page)

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Ar/CH₄ 마이크로웨이브 플라즈마 하에서 나노결정다이아몬드 박막의 미세구조 형성 과정에 대하여 연구하였다. 실리콘 기판 위에 불균일 핵생성을 위해 만든 스크래치 자리에 생성된 나노결정 크기의 다이아몬드 입자는 시간의 경과에 ... 전체 초록 보기

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