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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 229 - 233 (5page)
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공구에 다이아몬드를 코팅할 경우 코발트의 영향을 최소화하여 밀착력을 향상시키기 위해 모재 표면에 존재하는 코발트를 제거하거나 중간층을 형성하는 다양한 기상화학증착법 중에서 최근에 다시 주목을 받고 있는 것이 마이크로웨이브 플라즈마에 의한 다이아몬드 증착법이다. 마이크로웨이브 플라즈마법은 공정의 안정성, 막의 재현성, 높은 에너지 효율 등의 장점을 가지고 있다. 특히, 마이크로웨이브 발생장치가 고출력화됨으로써 대면적화가 가능하여 상업화 가능성이 대단히 높은 증착법이다. 다이아몬드 코팅 공구의 상업화에 걸림돌이 되고 있는 또 다른 이유로는 조대한 다이아몬드 결정 입자를 들 수 있다. 조대한 결정 입자는 마모 정도가 높고 피삭물의 표면 품질과 정밀 공정에 나쁜 영향을 미치게 된다. 이를 해결하기 위해 다이아몬드 코팅층을 기계적으로 연마하여 사용하는 것이 가능하나 많은 시간과 경비가 소요되고, 복잡한 형상의 절삭 공구에는 적용이 어려워 실용화하기에는 여러 가지 문제점이 있다. 이 같은 비경제적인 후가공 처리를 생략하여 경제성을 높일 수 있고, 복잡한 형상의 공구에 적용이 가능한 방법으로는 결정 입자의 크기를 작게 하여 표면의 평활도를 향상시키는 방법이 있다. 본 연구의 목적은 마이크로웨이브 플라즈마 기상화학증착법으로 WC-Co 초경공구의 표면에 다이아몬드 필름을 증착하여 초경공구의 성능을 개선하는 것이다. 특히, 공정 가스량이 다이아몬드 결정 입자 형상에 미치는 영향을 고찰하고자 한다.
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