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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
김인섭 (한국산업기술대학교) 강찬형 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 추계학술대회 및 한일 국제 심포지엄
발행연도
2010.11
수록면
132 - 133 (2page)

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2013

마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과
김인섭 ,  강찬형 한국표면공학회지 2013.02 학술저널

2010

마이크로웨이브 플라즈마 CVD 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과
김인섭 ,  강찬형 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.11 학술대회자료

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실리콘 웨이퍼 기판 위에 MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 시스템을 이용하여 나노결정 다이아몬드 박막을 증착하였다. 공정 압력, 마이크로웨이브 전력, Ar/CH₄ 가스 조성비, 기판 온도를 일정하게 놓고, 기판에 -150 V의 직류 바이어스 ... 전체 초록 보기

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마이크로웨이브 플라즈마에서 나노결정다이아몬드 입자의 박막 성장 기구
정두영 ,  강찬형 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .10

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-004019142