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다이아몬드가 준안정상태로 존재하는 조건(저압 및 저온) 하에서 화학증착시키는 방법이 80년대에 개발되어 새로운 다이아몬드 코팅기술로 등장하고 있다. 여기서는 여러가지 CVD 방법을 장단점과 함께 소개하였다. 다이아몬드 박막의 성장에 관련된 반응기구와 수소원자의 역할을 논하였으며, 또 장래의 연구분야와 응용을 전망하였다.
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