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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.11
- 수록면
- 148 - 149 (2page)
이용수
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EMF 부가형 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 상온에서 TiN<SUB>x</SUB> 박막을 non-alkali 유리 기판 위에 증착하였다. N₂/(N₂+Ar) 비율은 0%에서 30%까지 증가시키면서 파워는 DCMS400W와 DCMS400W+EMF25W로 유지하였다. 파워 DCMS400W+E ... 전체 초록 보기
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