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저자정보
김희연 (한국과학기술원) 홍순형 (한국과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 재료 및 파괴부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.8
수록면
54 - 56 (3page)

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NiTi shape memory alloy have many MEMS applications such as microgripper, micro valve and micropump which need higher displacement. Mechanical properties of NiTi thin film are strongly dependent on concentration change and evolved residual stress during deposition process. In this paper, thermomechanical properties of RF sputtered NiTi thin film have been investigated. 3 types of NiTi thin film, Ni-rich, equiatomic and Ti-rich, was fabricated on p-Si(100) substrate at room temperature and crystallized for 1hr at 500℃. M↔A transformation temperatures with Ti concentration increased. Ti-rich NiTi thin film had martensite structure at room temperature and this type could be applied for microactuator application. In the annealed condition, residual stress showed highest value at Ni-rich composition and concentration ... 전체 초록 보기
#NiTi #MEMS #Shape Memory Alloy(형상기억합금) #Thin Film(박막) #Thermomechanical Property(열기계적 물성)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험 결과 및 고찰

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