고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구

김정혁 ,  박지봉 ,  김정곤 외 3명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2011 .05

Nano TiNx를 함유한 Ti복합체의 제조

김성진 ,  김문협 ,  김동식 외 7명

한국분말야금학회지

2006 .01

The Characteristic of Titanium Composites Including of Nano-sized TiNx for Stack Separator

박성범 ,  반태호 ,  우흥식 외 1명

한국분말야금학회지

2010 .01

연료전지용 TiNx와 CNT복합강화 STS 분리판의 제조

박승식 ,  박성범 ,  홍태환 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

연료전지용 nano TiNx강화 고강도 STS 분리판의 제조

박성범 ,  김성진 ,  오영환 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Planetary Milling 에 의한 TiNx 의 제조

김성진 ,  박성범 ,  김동식 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Fabrication of composites materials of hydroxyapatite and TiNx contained Titanium

김성진 ,  권원일 ,  박성범 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

전자기장 부가형 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 TiN_x 박막의 특성 평가

박지봉 ,  김정혁 ,  김영신 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

스퍼터링에 의한 고밀도 Al 박막 코팅과 특성 분석

양지훈 ,  정재인 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

스퍼터링법으로 증착된 W박막의 미세구조

장철민 ,  최병호

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Characteristics of BDD electrodes deposited on Ti substrate with TiNx interlayer

Shin Kim ,  Seo-Han Kim ,  Mi-young You 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰

김성일 ,  심병철 ,  최윤석 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

BaNb₂O₆:Eu³⁺ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과

강현식 ,  박성민 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

고밀도 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술 연구

김종국 ,  이승훈 ,  김도근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

R.F Sputtering으로 제조한 ZnO박막의 미세구조와 광학적 특성에 미치는 잔류응력의 영향

류상 ,  김영만

한국표면공학회지

2005 .08

반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석

민경훈 ,  김기범

한국표면공학회지

1994 .10

고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 공정 개발

김종국 ,  이승훈 ,  김도근 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링에 의해 제조한 $\textrm{TiO}_2$박막의 미세조직과 광학적 특성

노광현 ,  박원 ,  최건 외 1명

한국재료학회지

1997 .01

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

이민구 ,  김흥회 ,  김선재 외 2명

한국표면공학회지

2000 .04