전류비와 가스 유량비에 따른 병렬 안테나 플라즈마원의 균일도 전산 모사

노지현 ,  홍광기 ,  양원균 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

300㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 안테나에 의한 플라즈마 균일도 모델링

양원균 ,  주정훈 ,  남창길

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

내장형 선형 안테나를 이용한 대면적 유도결합형 플라즈마 소스에 관한 연구

박정균 ,  임종혁 ,  김경남 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

매엽식 방법을 이용한 웨이퍼 후면의 박막 식각

안영기 ,  김현종 ,  구교욱 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

$SiO_2$ 막의 습식식각 방법별 균일도 비교

안영기 ,  김현종 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전 특성

고광철 ,  堀田榮喜

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

헬리콘 플라즈마원의 특성

현준원 ,  노승정 ,  김경례 외 2명

한국표면공학회지

1999 .12

와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전현상에 관한 수치적 해석

송태헌 ,  박정호 ,  고광철 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

[특집:반도체 제조장비용 전력변환기술] 반도체 공정용 플라즈마원

정진욱 ,  이용관 ,  장홍영

전력전자학회지

2002 .02

웨이퍼 궤적 시뮬레이션에 의한 CMP 균일도 향상 연구

김상기 ,  이용일 ,  백종태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

플라즈마 소스 이온주입용 플라즈마원의 이온 분석

김광훈 ,  S.A. Nikifo ,  ov 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

엄두승 ,  허경무 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )

윤창식 ,  이종근 ,  김택수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구

윤창식 ,  이종근 ,  김택수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 수치해석 방법 비교

權得哲 ,  尹南植 ,  金貞衡 외 1명

전기학회논문지 C

2004 .08

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

BCl₃/C₄F₈ 가스 조합을 이용한 ZrO_x 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구

오창권 ,  박상덕 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04