300 ㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 병렬 안테나 플라즈마원의 균일도 평가

홍광기 ,  최지성 ,  양원균 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

흡상 전류비 방식에서 전기기관차를 이용한 전류비 산출 기법에 관한 연구

이국찬 ,  이상호 ,  최성수 외 4명

한국철도학회 학술발표대회논문집

2017 .10

와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전 특성

고광철 ,  堀田榮喜

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

300㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 안테나에 의한 플라즈마 균일도 모델링

양원균 ,  주정훈 ,  남창길

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

헬리콘 플라즈마원의 특성

현준원 ,  노승정 ,  김경례 외 2명

한국표면공학회지

1999 .12

와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전현상에 관한 수치적 해석

송태헌 ,  박정호 ,  고광철 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

[특집:반도체 제조장비용 전력변환기술] 반도체 공정용 플라즈마원

정진욱 ,  이용관 ,  장홍영

전력전자학회지

2002 .02

플라즈마 소스 이온주입용 플라즈마원의 이온 분석

김광훈 ,  S.A. Nikifo ,  ov 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 수치해석 방법 비교

權得哲 ,  尹南植 ,  金貞衡 외 1명

전기학회논문지 C

2004 .08

고효율, 회전대칭성 향상을 위한 유도결합 플라즈마 안테나

남형호 ,  이효창 ,  정진욱

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

교류전기철도 차량운전시 고장점 표정시험에 따른 오차보정 사례연구

김상활 ,  이상호 ,  최성수 외 4명

한국철도학회 학술발표대회논문집

2017 .05

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

PRO/II를 사용한 가스화기 모델링

김광신 ,  주용진 ,  김미영 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

철강 재료 전산 모사 기술 연구 현황

심재혁 ,  이승철

기계와 재료

2010 .01

이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교

권득철 ,  유동훈 ,  이종규 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in Inductively coupled plasma

이효창 ,  방진영 ,  정진욱

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01