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CMP 공정중 패드 표면의 온도분포에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
CMP Pad 표면 변화를 통한 초기 Polishing 특성 향상
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
산화막 CMP에서 리테이너 링 압력이 연마 형상과 응력분포에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .04
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
[논문] CFD를 이용한 CMP의 Pad Groove 형상 설계 연구
한국유체기계학회 논문집
2003 .12
고정입자 패드를 이용한 텅스텐 CMP에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
CMP 용 멤브레인형 연마 헤드가 웨이퍼와 패드 표면의 응력 분포에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CMP공정에서 Intelligent Pad를 이용한 압력분포 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
CMP 공정에서의 패드 물성변화 및 입자 거동에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
연마불균일도에 영향을 미치는 패드 표면특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2006 .01
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
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