자성박막 소자 에칭용 전자 사이클로트론 공명 이온밀링 시스템 제작과 특성연구

이원형; 황도근; 이상석; 이장로

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이원형 (Penn State University) 황도근 (상지대학교) 이상석 (상지대학교) 이장로 (숙명여자대학교)

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제25권 제5호

발행연도: 2015.10

수록면: 149 - 155 (7page)

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자성박막의 미세패턴 소자 제작을 위해 전자 사이크로트론 공명(electron cyclotron resonance; ECR) Ar 이온밀링 시스템을 제작하였다. 소자 식각에 적용한 ECR 이온밀링 시스템에서 주파수 2.45 GHz 파장 12.24 cm의 마이크로파 소스인 마그네트론은 전력 600W에 의해 가동되어 파장의 정수배에 맞추어 만든 도파관을 통하여 전달되도록 설계하였다. 마이크로파 주파수와 공명시키기 위해 전자석으로 908 G의 자기장을 인가하였고, 알곤 개스를 cavity에 유입시켜서 방전된 이온들은 그리드 사이에 인가한 약 1000 V의 가속전압에 의한 에너지를 갖고 표면을 밀링한다. 이것을 이용하여 다층구조 GMR-SV(giant magnetoresistance-spin valve) 자성박막에 광 리소그래피, 이온밀링 및 전극제작 공정과정을 마치고 폭이 1 μm에서 9 μm까지의 소자들을 제작하여 광학현미경으로 소자 크기를 관찰하였다.

#electron cyclotron resonance (ECR) #Ion milling #magnetic thin film #microwave #lithography process #전자 사이클로트론 공명(ECR) #이온밀링 #자성박막 #마이크로파 #리소그래피 공정

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - 이원형 / 2009 / Uniaxial Magnetic Anistotropy of a NiO-Spin Valve Device / Journal of Magnetics 14 (1) : 18 ~ 22

[학술지(정기간행물)] - 최종구 / 2012 / Observation of Water Level and Temperature Properties by using a Giant Magnetoresistance-Spin Valve Film / Journal of Magnetics 17 (3) : 214 ~ 218

[학술지(정기간행물)] - Sang-SukLee / 2002 / Specular Scattering E ect of Magnetoresistance in a Dual NiO Spin Valve Etched by Electron Cyclotron Resonance Oxygen Ion Milling / Journal of the Korean Physical Society 40 (3) : 484 ~ 487

[학술지(정기간행물)] - 카지드마 / 2013 / 바이오센서용 거대자기저항-스핀밸브 박막이 등방성 자기저항 특성을 갖게 하는 후열처리 조건 연구 / 한국자기학회지 23 (3) : 98 ~ 103

[학술지(정기간행물)] - 벌러르마 / 2015 / GMR-SV 박막내 미크론 크기의 홀 형성을 이용한 교환결합세기와 보자력 특성연구 / 한국자기학회지 25 (4) : 117 ~ 122

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