Atomic layer deposition of high - k dielectric lanthanum oxide(La₂O₃) thin films on SiO₂(100) substrate

조상진 ,  박남균 ,  하정숙 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Electrical Properties of Copper Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Byung Kook Lee ,  Jae Ki Min ,  Sun Sook Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

The characteristics of the lanthanum hafnium oxide (LHO) deposited by ECR atomic layer deposition

김웅선 ,  고명균 ,  김태섭 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Characterization of the Interface & ZrO₂ film fabricated by Atomic Layer Deposition method

박윤백 ,  연태원 ,  최민기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Optimization of Solution-Processed Lanthanum-Indium-Zinc-Oxide Channel Thin-Film Transistors

Donghyeon Lee ,  Byoungdeog Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Electrical and structural investigation of Nd-doped TiO₂ thin films grown on RuO₂ substrate by Atomic Layer Deposition

H. Kwon ,  W. T. Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Hafnium oxide thin films by atomic layer deposition using a novel Hf metallorganic precursor

Seungmin Yeo ,  Ga Yeon Lee ,  Taeyong Eom 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films

C.T.T.Huong ,  Myung Mo Sung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Atomic Layer Deposition for Display Applications

Jin-Seong Pa ,  k

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Atomic Layer Deposition에 의해 제조된 Cobalt Oxide 박막의 특성

김재경 ,  최규하 ,  박광민 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Atomic structure of Si(5 5 12)-2×1

김희동 ,  리혜정 ,  서재명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

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2013 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

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2017 .08

La_xAl_yO_z nanolaminate films on TiN substrates grown by atomic layer deposition

김수영 ,  박원태 ,  김병호 외 1명

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2006 .08

Study of CO Oxidation on Bare and TiO₂-coated NiO/Ni(OH)₂

Jong Won Nam ,  Kwang-Dae Kim ,  Dong Wun Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Chemical Vapor Deposition of Ga₂O₃ Thin Films on Si Substrates

Doo Hyun Kim ,  Seung Ho Yoo ,  Ki-Seok An 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02