대기압 DC Arc Plasma를 이용한 Etching rate의 최적화 연구

강인제; 이헌주

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 강인제 (제주대학교) 이헌주 (제주대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 478 - 478 (1page)

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