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Effect of deposition parameters on structure of ZnO films deposited by an DC Arc Plasmatron
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
[Invited Talk] 대기압 플라즈마를 이용한 ZnO 박막 형성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라즈마트론(plasmatron)을 이용한 CO₂ 저감 특성
한국대기환경학회 학술대회논문집
2013 .08
Depositon of Transparent Conductive Films by a DC arc Plasmatron
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Study on Improvement of Diamond Deposition on Al2O3 Ceramic Substrates by a DC Arc Plasmatron
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
대기압 DC Arc Plasma를 이용한 Etching rate의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
증착 환경 변화에 따른 인이 첨가된 ZnO 박막의 물성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
대기압 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 ZnO 나노재료의 합성과 in-situ 도핑
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
대기압 non-thermal 아크의 환경분야 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
원자층 증착법을 이용한 ZnO 트랜지스터
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
대기압 플라즈마와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성 및 stability 향상을 위한 후열처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
전기화학증착법으로 성장된 n-ZnO 나노구조/p-Si 기판의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO / Si(111) 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
대기압 멀티 플라즈마 소스제작 및 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 Glass 기판위에 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PC 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
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