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Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
스퍼터링으로 제조된 비정질 카본박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/SiO₂ 다층박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
SiOx 박막의 특성 향상을 위한 대향 타겟식 스퍼터링 공정의 최적화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
이온빔 스퍼터링을 이용해 제작한 SiO₂/Zr dots/SiO₂ 구조의 비휘발성 메모리 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
스퍼터링를 이용한 주석 박막의 형상제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
UBM 스퍼터링 소스를 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 NixFe100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2009 .12
이온빔 스퍼터링 방법을 이용하여 제작한 ZnO 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
이온빔 스퍼터링으로 고분자 기판 위에 증착한 SiO₂ / TiO₂ 다층 박막의 반사 방지막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
E-beam evaporation을 이용하여 Si 기판위에 다양한 각도에 따라 성장된 SiO2 박막특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
RF 스퍼터링법을 이용한 리튬 이차 전지용 Si-Al 적층 음극 박막의 제조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Si / SiO₂ - nanostructure의 제작 및 C-V특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
스퍼터링 전력 변화에 따른 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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