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이온빔 스퍼터링 방법을 이용하여 제작한 ZnO 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
이온빔 스퍼터링으로 고분자 기판 위에 증착한 SiO₂ / TiO₂ 다층 박막의 반사 방지막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
이온빔 스퍼터링을 이용해 제작한 SiO₂/Zr dots/SiO₂ 구조의 비휘발성 메모리 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
SiO₂ / TiO₂ 다층박막 구조의 광필터 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
SiO₂ 위의 금 나노박막 열응집에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
반응성 스퍼터링 후 열처리를 이용한 CIGS 박막의 조성비 변화에 따른 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
이온 빔 스퍼터링 방법으로 제작한 Mo 박막의 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Chemical Ssolution Depisition 방법을 이용한 BiFeO₃/Pb(Zr0.52Ti0.48)O₃ 다층박막의 전기적 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
신규 Ge precursor를 이용한 Ge 박막 및 GST 박막 제조와 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
SIMS를 이용한 Si/Ge 다층박막의 조성 깊이 분포 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
산소이온빔에 의한 Si/Ge 다층박막의 SIMS 깊이분포도 분석에서 계면에서의 비정상적 신호 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
최적화된 대면적 스퍼터링 캐소드를 이용한 Si/SiO2 박막 제조 및 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
DC 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 증착조건에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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