대향타겟식 스퍼터법으로 증착한 GAZO 박막의 투입전력에 따른 특성

김경환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김경환 (경원대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 217 - 217 (1page)

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논문수 27 이용수 812

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DC 마그네트론 Co-sputtering 시스템을 이용하여 증착한 GAZO 박막의 전기적 및 구조적 특성

Luo Jie , 박세훈 , 송풍근 한국표면공학회지 2009 .06

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003907111

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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