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스퍼터 및 CVD 공정을 통한 대면적 텍스쳐 기판에서의 균일한 페로브스카이트 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
대항 타겟식 스퍼터법을 이용한 IZO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
스퍼터법으로 증착된 ITO / Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 디스플레이 패널용 MgO 박막의 반응성 스퍼터
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
스퍼터된 산화아연 박막의 결정 성장 방향에 따른 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al 박막의 형성 시 실시간 전기저항 측정에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화
한국결정학회지
1998 .01
스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
트윈 타겟 스퍼터 시스템으로 성장시킨 OLED 박막봉지용 Al₂O₃/Ag/Al₂O₃ 다층 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
대향타겟식 스퍼터법으로 제작된 ZnO / Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Two - step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
선형 대향 타겟 스퍼터를 이용하여 성막한 Al-Ga-Zn-O 다성분계 박막의 두께에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Fe-Al 박막의 선택산화와 자기특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2011 .12
스퍼터이온펌프의 소형ㆍ경량화 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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