지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.2
- 수록면
- 272 - 272 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
-
ICP 소스 외벽에 플라즈마가 미치는 온도 분포
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 Shallow Trench식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
-
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
Determination of major and minor components in metals by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS), laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICP-MS) and X-ray fluorescence spectrometry(XRF)
한국분석과학회 학술대회
2011 .05
-
The electron cyclotron resonance (ECR) at various conditions in the inductively coupled plasma(ICP)
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Inductively Coupled Plasma 방전의 Global Modelling 과 Simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
-
Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
-
Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
Effects of pulse modulation in Ar/H₂ inductively coupled plasma using fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Investigation of Gas Injection Effect in Inductively Coupled Plasma with Fluorocarbon Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
-
One-dimensional Transformer Model for Solenoidal Inductively Coupled Plasma Source
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Effects of the Capacitive Field in an Inductively Coupled Plasma Discharge
Applied Science and Convergence Technology
2017 .09
-
Graphene Cleaning by Using Argon Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003924338