지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F8/ O₂ 가스의 특성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Inductively Coupled Plasma 장치를 활용한 Ar, Ar/O₂ 방전에서 metastable 아르곤 특성 파악
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Dependence of gas pressure and flow rate in an inductively coupled plasma with remote source
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Elemental analysis of rice using laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry(LA-ICP-MS)
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Effects of pulse modulation in Ar/H₂ inductively coupled plasma using fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Brief Review of Atomic Layer Etching Based on Radiofrequency-Biased Ar/C₄F6-Mixture-Based Inductively Coupled Plasma Characteristics
Applied Science and Convergence Technology
2023 .03
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
산업공정 플라즈마에서 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
0