지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.8
- 수록면
- 114 - 114 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Brief Review of Atomic Layer Etching Based on Radiofrequency-Biased Ar/C₄F6-Mixture-Based Inductively Coupled Plasma Characteristics
Applied Science and Convergence Technology
2023 .03
-
Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Etching of Ta₂O₅ thin films by inductively coupled plasma
한국분석과학회 학술대회
2024 .11
-
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Characterization of inductively coupled Ar/CH4 plasma using tuned single langmuir probe and fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Elemental analysis of rice using laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry(LA-ICP-MS)
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
-
Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F8/ O₂ 가스의 특성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Charterization of large-area N₂/NH₃/SiH₄ inductively coupled plasma using fluid simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure
Applied Science and Convergence Technology
2020 .11
-
Effects of the Capacitive Field in an Inductively Coupled Plasma Discharge
Applied Science and Convergence Technology
2017 .09
-
Quantitative analysis of silicone fluid by inductively coupled plasma-optical emission spectroscopy
한국분석과학회 학술대회
2016 .11
-
유도 결합 플라즈마에서 E - H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Inductively Coupled Plasma Discharge Simulation for the Semiconductor Process Considering Impedance Calculation in 3D Asymmetric Structure
Applied Science and Convergence Technology
2020 .03
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0