The characteristics of the Cylindrical Rotating Magnetron-Sputtered ITO films as a function of the film thickness

김재호; 성태연; 김한기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김재호 (고려대학교) 성태연 (고려대학교) 김한기 (경희대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.2

수록면: 250 - 250 (1page)

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#Cylindrical rotating magnetron sputtering #Transparent conducting electrodes #ITO

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논문수 25 이용수 1,460

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논문수 27 이용수 702

김한기

소속기관 성균관대학교

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