The Thin Silicon Films Prepared by Thermal - and Photo - CVD at Low Temperatures

Chan-Hwa CHUNG ,  Jae Hyun HAN ,  Sang Heup MOON

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Low - temperature silicon epitaxy by UHV - CVD

이홍로 ,  임승현 ,  박진원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

CVD에 의한 Diamond박막성장시 W - filament의 임계 CH₄농도및 박막에 미치는 Bias영향

이철로 ,  김관식 ,  임재영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Texture in Silicon Carbide Seedded with Silicon Carbide Whisker

김원중 ,  노명훈

한국결정학회 학술연구발표회

2005 .01

CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구

황재담 ,  이경민 ,  김태환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Neutral Beam assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature for n-type Doped nano-crystalline silicon Thin Film

장진녕 ,  이동혁 ,  소현욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Expanding Thermal Plasma CVD of Silicon Thin Films and Nano-Crystals : Fundamental Studies and Applications

Richa ,  d van de Sanden

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Superhydrophobicity of polytetrafluoroethylene(PTFE) thin film fabricated by Cat-CVD method under various catalyzer temperature

조정연 ,  차정옥 ,  안정선 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Direct Deposition of Polycrystalline Silicon Films on Plastic Substrates by Catalytic CVD for Thin Film Transistors

Chul-Lae Cho ,  Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Preparation and Magnetic Properties of Bi_m+1Fe_m-3Ti₃O₃_m+3 Thin Films with Magnetic Order above Room Temperature

Y. Shimizu ,  K. Yamaguchi ,  T. Yokota 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor

Kyeong-Keun CHOI ,  Kee JONG ,  Jeong-Yoon LEE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Development of Nano Crystal Embedded Polymorphous Silicon Thin Film by Neutral Beam Assisted CVD Process at Room Temperature

Jin Nyoung Jang ,  Dong Hyeok Lee ,  Hyun Wook So 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Highly selective etching of silicon nitride to CVD a-C in dual-frequency capacitively coupled CH₂F₂/H₂plasmas

김진성 ,  권봉수 ,  안정호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Highly Doped Nano-crystal Embedded Polymorphous Silicon Thin Film Deposited by Using Neutral Beam Assisted CVD at Room Temperature

장진녕 ,  이동혁 ,  소현욱 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Hot Filament CVD 법으로 성장시킨 탄소나노튜브의 전계 방출 특성 연구

김은미 ,  황윤식 ,  권민철 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Direct Deposition of Polycrystalline Silicon Films on Plastic Substrates using the Catalytic CVD Technique

Hong ,  Wan-Shick ,  Kim 외 3명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

고주파플라즈마CVD법에 의한 Diamond 박막의 성장과 특성

박상현 ,  장재덕 ,  최종규 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .09

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

임웅선 ,  강세구 ,  오종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07