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저자정보
조상진 (성균관대학교) 배인섭 (성균관대학교) Nguyen Trieu (성균관대학교) 부진효 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
138 - 138 (1page)

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