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증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
펜타신 박막의 두께와 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
SIM을 이용한 빔크기 측정과 박막두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
XPS를 이용한 ㎚급 산화막 박막 두께 측정법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
DC 스퍼터로 증착한 금속박막의 실시간 전기저항 측정과 유착두께에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
저유전상수값을 갖는 플라즈마 폴리머 박막의 헬륨 플라즈마 처리에 대한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
유전 알고리즘
한국동물학회 학술대회
1998 .01
저 유전 a-C:F 박막의 접착 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
HR-XRD로 측정된 Si1-xGex 에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Laser Fired Contact 태양전지 개발을 위한 Screen Printed Laser Back Contact의 최적 SiNX 두께 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
대기압 플라즈마 처리에 따른 혈액 응고도의 정량적 측정과 실시간 측정을 위한 전극구조 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
ZnO:N 박막 성장을 위한 유도결합 플라즈마 발생 및 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
NiO 극초박막의 두께에 따른 Fe 박막의 자성 변화
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .06
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