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저자정보
최창록 (성균관대학교) 정동근 (성균관대학교) 문대원 (한국표준과학연구원) 이태걸 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
232 - 232 (1page)

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