대기압 플라즈마에 의한 ZrO2 박막 형성

이봉주; 박정원

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이봉주 박정원

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 167 - 167 (1page)

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