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ZnO 박막의 압전특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 BCl₃/ Cl₂/ Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
MBE법에 의한 undoped ZnO/ZnO 박막 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 법에 의해 합성된 ITO 박막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
[Invited Talk] 대기압 플라즈마를 이용한 ZnO 박막 형성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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